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"素繪"300U大口徑立式激光干涉儀

嚴格情況下，要求按照元件的使用狀態(tài)測量，例如很多窗口、反射鏡和半導體晶圓等。素繪300U的通光口徑為300mm。為鏡頭上置、光路向下的結構，適合對樣品的平放測量。

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