乾曜光學(xué)“素繪”系列激光干涉儀命名源于《論語》中“繪事后素”，從本質(zhì)上追求高品質(zhì)。“素繪"系列具有達(dá)到衍射極限的光學(xué)設(shè)計(jì)、高功率穩(wěn)頻氦氖激光器、400萬或1160萬像素的相機(jī)和使用P1壓電陶瓷的超穩(wěn)定移相器，通過Sirius抗振移相解析軟件采集條紋后計(jì)算分析，從而實(shí)現(xiàn)高分辨率的測(cè)量，展示樣品表面的中頻特征，達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平的光學(xué)分辨率和測(cè)量重復(fù)性。"素繪"系列有HD和FHD兩種分辨率，光源從632.8nm擴(kuò)展到紫外266nm到近紅外1550nm，結(jié)構(gòu)形式可分為正立式、倒立式、大口徑臥式和大口徑立式。