乾曜光學(xué)提供普通精度的平面標(biāo)準(zhǔn)鏡和超精密平面標(biāo)準(zhǔn)鏡,均包含平面透射標(biāo)準(zhǔn)鏡和平面反射標(biāo)準(zhǔn)鏡。 有效口徑有150mm(6英寸),100mm(4英寸), 60mm,30mm,150mm和100mm口徑鏡頭與Zygo 通用,60mm和30mm口徑鏡頭與富士通用。
超精密平標(biāo)準(zhǔn)鏡頭代理國(guó)外產(chǎn)品,精度達(dá)PV<λ/50 (λ=632.8nm)。精度測(cè)試文件儲(chǔ)存為Zygo干涉儀的 標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)格式,在Zygo干涉儀的數(shù)據(jù)中能夠移除標(biāo) 準(zhǔn)球面的誤差,以達(dá)到絕對(duì)測(cè)量。