乾曜光學(xué)提供普通精度的平面標(biāo)準(zhǔn)鏡和超精密平面標(biāo)準(zhǔn)鏡，均包含平面透射標(biāo)準(zhǔn)鏡和平面反射標(biāo)準(zhǔn)鏡。 有效口徑有150mm（6英寸），100mm（4英寸）， 60mm，30mm，150mm和100mm口徑鏡頭與Zygo 通用，60mm和30mm口徑鏡頭與富士通用。

       超精密平標(biāo)準(zhǔn)鏡頭代理國(guó)外產(chǎn)品，精度達(dá)PV<λ/50 （λ=632.8nm）。精度測(cè)試文件儲(chǔ)存為Zygo干涉儀的 標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)格式，在Zygo干涉儀的數(shù)據(jù)中能夠移除標(biāo) 準(zhǔn)球面的誤差，以達(dá)到絕對(duì)測(cè)量。