1、儀器規(guī)格參數(shù)表
（附注：更不同口徑剪切涉儀可依據(jù)客戶需求定制）
2、儀器特點(diǎn)
- 剪切板選用熔石英材料，熱膨脹系數(shù)低，且應(yīng)力小；
- 可使用波長覆蓋可見光與近紅外波段（400nm~1064nm），上表列出了若干特征波長的技術(shù)參數(shù)；
- QY-SP-08型剪切干涉儀專為激光器光束準(zhǔn)直性檢驗(yàn)設(shè)計(jì)，可由監(jiān)視器對(duì)激光器輸出的小口徑光束進(jìn)行觀測。入射光束的功率設(shè)計(jì)值為1mw左右，超過此功率值時(shí)，請(qǐng)使用衰減片。其他類型的剪切干涉儀對(duì)入射光強(qiáng)沒有限制。
一、 測量原理
基于平板剪切干涉原理，采用一塊具有一定厚度并帶有微量楔角的高質(zhì)量光學(xué)平板將一個(gè)具有空間相干性的波面分割為兩個(gè)完全相同的波面，并且使這兩個(gè)波面彼此相對(duì)錯(cuò)位；因?yàn)椴嫔细鼽c(diǎn)是彼此相干的，因此在這兩個(gè)波面的重疊區(qū)將產(chǎn)生干涉（圖1）。
圖1、剪切干涉原理示意圖
剪切平板楔角方向與剪切方向垂直。如果被檢光束完全平行，則干涉條紋平行于剪切方向；如果被檢光束會(huì)聚或發(fā)散，則條紋將發(fā)生旋轉(zhuǎn)（圖2）。
圖2、光束不同狀態(tài)的剪切干涉圖
同時(shí)，若入射波前攜帶波像差，則剪切干涉條紋不再是直條紋，對(duì)應(yīng)不同的像差類型，條紋形態(tài)會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化。因此，可依據(jù)條紋形狀定性分析波前相差的類型及幅度。
一、 測量方法
1、光束準(zhǔn)直度的判讀：
觀察干涉條紋接收屏條紋的傾斜方向，如圖2所示。若條紋與基準(zhǔn)線平行，則光束是準(zhǔn)直的；若條紋沿斜上方向傾斜，則光束是發(fā)散的；若條紋沿斜下方向傾斜，則光束是會(huì)聚的。
當(dāng)光束不平行時(shí)，通過測量條紋相對(duì)于基準(zhǔn)線的轉(zhuǎn)角，可推算出光束的發(fā)散角。計(jì)算方法如圖3所示：
圖3、光束發(fā)散角計(jì)算方法
波面的曲率半徑及發(fā)散角的計(jì)算公式如下：
其中，入射光束直徑d與波長 已知；剪切量 可查看產(chǎn)品目錄的技術(shù)參數(shù)；條紋間距 與波長及剪切板楔角有關(guān)，可參考產(chǎn)品目錄或直接用量具測量；條紋偏轉(zhuǎn)角 可測量得出（需選購帶刻度的接收組件）。代入式(1)、(2)，即可求得光束波面的曲率半徑 及發(fā)散角 。
2、 光束波像差的判斷：
下面分別介紹各種像差所對(duì)應(yīng)的剪切干涉圖，以便在測試時(shí)進(jìn)行對(duì)照判斷：
圖4、球差波面在不同離焦位置的剪切干涉圖：(a)焦內(nèi)，(b)焦點(diǎn)，(c)、(d)：焦外
圖5、彗差波面在不同離焦位置的剪切干涉圖：(a)無離焦，(b)有微量離焦
圖6、像散波面的剪切干涉圖：(a)弧矢方向剪切，(b)子午方向剪切
