乾曜光學(xué)提供普通精度的球面標(biāo)準(zhǔn)鏡和超精密球面標(biāo)準(zhǔn)鏡,有效口徑有150mm (6英寸),100mm (4英寸), 60mm , 30mm„ 150mm和100mm口徑鏡頭與Zygo通用,60mm和30mm口徑鏡頭與富士通用。
超精密球面標(biāo)準(zhǔn)鏡為代理國外產(chǎn)品,精度達(dá)PV〈入/40 (入=632.8nm ).精度測試文件儲存為Zyg。干涉儀的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)格式,在Zygo干涉儀的數(shù)據(jù)中能夠移除標(biāo)準(zhǔn)球面的誤差,以達(dá)到絕對測量。