激光干涉儀的應用,更為廣泛的應用于工業(yè)生產和科學研究中
2017-04-03
雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀最終擺脫了計量室的束縛,更為廣泛的應用于工業(yè)生產和科學研究中。
隨著、重型機械、發(fā)電設備、船舶工業(yè)的發(fā)展,對大尺寸測量的要求越來越高。一些精密配合的大型零部件,尺寸達到十幾米甚至幾十米,精度要求達到IT7以上。如何測量這些零部件長期以來一直是困擾計量工作者的技術難題。目前實際應用的測量手段仍以外徑千分尺、內徑測桿等傳統(tǒng)測量工具為主,遠遠不能滿足需求。清華大學曾研制出一套很好的對準方法,與激光干涉儀相結合,用于測量大尺寸可達到很高的精度,但該方法必須使用高精度導向導軌,限制了在生產、安裝現場的使用。因此,開發(fā)高精度、無導軌大尺寸測量技術,一直是長度計量領域的一個重要課題。
激光技術的快速發(fā)展為大尺寸精密測量開拓了嶄新的領域。近二十年來,出現了多種無導軌大尺寸測量方法,其中,受到廣泛關注的無導軌激光干涉儀是近年來發(fā)展很快的一種先進測量方法。
小數重合法是無導軌激光干涉儀的基礎。它是一種測量和數據處理方法,常用于量塊檢定中。通俗地說,這種測量方法就像用不同長度的幾把“尺子”去量同一個物體,只要得到各次測量值的尾數,即可導出物體的實際長度,它并不關心測量的實際過程。
激光干涉儀是以波長為基本計量單位的,多波長激光器的發(fā)展,是實現不同長度“尺子”的基礎。激光器可以穩(wěn)定地輸出多種波長的激光,利用光學拍波技術,可以將這些單波長合成為一組波長相近、間隔均勻的“合成波長鏈”。“合成波長鏈”是一個塔形結構,塔頂是最高一級合成波,其波長最長,塔底則是單波長。測量時,干涉儀以不同波長的激光工作,從最高級(最長波)開始,逐級下降,直至單波長。激光干涉儀的測量結果是在各種波長干涉下的一組剩余相位,以此可推導出總測量長度,由于每次的測量值都是剩余相位,與測量過程無關,因此不需要導向導軌。
選擇合適的“合成波長鏈”是無導軌激光干涉儀的關鍵。長波干涉保證了測量值的唯一性,而測量精度則取決于短波干涉。為了簡化測量過程,還有一種只使用一個合成波的方法,如采用幾百毫米的合成波,借助于普通測量工具(如卷尺)測出大致的合成波周期數,剩余相位由干涉儀測出,這種方法只需一次測量即可完成,系統(tǒng)結構也非常簡練,但由于所使用的波長較長,在測量精度上必然有所損失。 各國學者對無導軌激光干涉儀技術進行了大量研究,研制開發(fā)了各種激光干涉儀