乾曜光學(xué)為福建華科升級Zygo干涉儀
2017-04-03
5月3日,乾曜光學(xué)工程師團隊為福建華科光電有限公司一臺Zygo GPI 4英寸干涉儀成功加裝用于球面鏡測量的導(dǎo)軌、五維調(diào)整架和曲率半徑測量系統(tǒng)和球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭,并一次性通過華科光電的驗收。
華科光電的Zygo干涉儀購于2013年底,由于未采購球面鏡測量的導(dǎo)軌系統(tǒng),造成測量球面鏡是效率很低。乾曜光學(xué)技術(shù)團隊與華科光電的團隊共同進行了詳細(xì)的可行性研究和方案討論,實現(xiàn)了加裝的測量系統(tǒng)不但能夠快速方便地測量球面鏡,并且具備了安裝測量柱面鏡的CGH的支撐和調(diào)節(jié)系統(tǒng),能夠進行柱面鏡測量。
華科光電同時采購了乾曜光學(xué)的4英寸F0.75,F(xiàn)1.5和F3.3的球面鏡頭用于Zygo干涉儀,經(jīng)過鑒定和測量比對,乾曜光學(xué)提供的鏡頭的測試結(jié)果能夠與Zygo鏡頭一致吻合。
華科光電也采購了乾曜光學(xué)QY-S-30D小型球面干涉儀用于光學(xué)車間現(xiàn)場檢驗,經(jīng)過比對,30D干涉儀的定性干涉圖與Zygo干涉儀的定量吻合。
乾曜光學(xué)也為舜宇集團進行了Zygo干涉儀加工球面鏡測量的導(dǎo)軌、五維調(diào)整架和曲率半徑測量系統(tǒng)和球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的項目。