在有些應(yīng)用中，根據(jù)樣品的形狀、裝夾方法、或者模擬樣品使用狀態(tài)下測(cè)量，正立式干涉儀結(jié)構(gòu)相比臥式和倒立式更有優(yōu)勢(shì)。例如半球形球罩面形和曲率半徑的測(cè)量，正立式結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)盤上測(cè)量以及下盤后的無夾持應(yīng)力測(cè)量，而臥式結(jié)構(gòu)無法夾持半球，倒立式結(jié)構(gòu)測(cè)量盤上時(shí)需要支撐樣品和磨盤的重力，易造成樣品變形。