G100、G150和G200激光干涉儀的有效口徑分別為101.6mm(4英寸)、152.4mm(6英寸)和200mm。菲索型的共光路設(shè)計結(jié)合Sirius抗振移相干涉條紋分析軟件實現(xiàn)高精度的面形和波前測量。可擴展成立式平面和倒立式球面等多種結(jié)構(gòu)形式的干涉儀。
G系列激光干涉儀定位高性價比的精密激光干涉儀,可以進行平面面形、平行度、波前和材料均勻性,球面面形、曲率半徑以及光學系統(tǒng)波像差等幾乎所有的干涉測量,可測量材料包含玻璃、塑膠、陶瓷、硅片和拋光的金屬。